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第108章 光刻机（第1页）

1966年2月25日清晨，上沪元件五厂的铁栅栏大门上还挂着褪色的春节对联。陈樾的吉普车碾过厂区坑洼的水泥路面，溅起的泥水在车门上画出几道弧线。厂长周志明小跑着迎上来，棉袄最上面的扣子系错了位，露出里面洗得发白的蓝布衬衫领子，领口处还别着一枚小小的毛主席像章。

"欢迎陈总莅临指导！"周厂长的声音有些发抖，呼出的白气在零下五度的寒风中迅速凝结成霜。他身后站着两排穿着深蓝色工装的工人，有个年轻小伙子的棉鞋破了个洞，露出里面打着补丁的旧袜子，在雪地里不停地跺着脚取暖。

陈樾点点头，目光扫过厂区斑驳的砖墙。墙上的"抓革命、促生产"标语已经褪色，角落里堆着几个锈迹斑斑的铁桶，桶身上还残留着"小心轻放"的俄文字样。科技系统的扫描光幕无声展开，将整个厂区的建筑布局、设备分布尽数收入知识库。

"先去三号车间看看。"陈樾说着，注意到周厂长的右手小指缺了一截——那是三年前一次设备事故留下的伤痕，伤口愈合处还留着明显的疤痕。

晶体管生产车间比想象中还要简陋。十几台老式设备发出嗡嗡的轰鸣声，空气中弥漫着松香、金属和机油混合的刺鼻味道。一个扎着麻花辫的女工正用镊子小心翼翼地夹起比米粒还小的晶片，她的工作台上摆着个印有"劳动光荣"字样的搪瓷缸，里面的茶水已经凉了，表面结了一层薄薄的茶锈。

"这是我们最好的净化工作台。"周厂长指着角落里用塑料布和木框临时搭建的封闭区域，语气中带着掩饰不住的自豪。塑料布上沾满灰尘和油渍，一角还破了个洞，用医用胶布草草粘着，透过缝隙能看到里面摆放的精密仪器。

陈樾走近那台手摇式光刻机，黄铜部件已经被岁月磨得发亮，操作手柄上的防滑纹路几乎被磨平。他假装调整设备焦距，实则启动了科技系统的全方位扫描功能。淡蓝色的光幕扫过机器内部复杂的齿轮传动结构，在他的视网膜上投射出精密的三维立体图纸。角落里，一个头发花白的老师傅正在用狼毫小楷笔修补掩膜版上的缺陷，笔尖细得像头发丝，手腕稳如磐石。

"这台机器每天能刻多少片晶圆？"陈樾问道，手指轻轻抚过工作台上深浅不一的划痕，那是多年使用留下的岁月痕迹。

"三十片，如果不停电的话。"周厂长的回答让陈樾心头一紧。这个数字还不到他前世参观过的现代化芯片厂产能的百万分之一。窗外的电线杆上，几只麻雀在寒风中瑟瑟发抖，更显得厂房内热火朝天的工作氛围格外珍贵。

2月26日，陈樾换上了和周厂长借来的深蓝色工装。衣服明显大了一号，袖口磨得起了毛边，后背上还有一块洗不掉的机油污渍。他跟着产线老师傅王建国从头开始制作3AG95晶体管，车间的暖气管道年久失修，呼出的白气在显微镜的目镜上结了一层薄霜，需要不时用袖口擦拭。

"陈总，您看这个掺杂浓度..."王师傅的手粗糙得像老树皮，指甲缝里还残留着洗不掉的油污，但操作起精密仪器来稳如磐石。他指着示波器上跳动的绿色波形，眉头皱成了深深的"川"字，额头上渗出细密的汗珠。

陈樾凑近观察，趁机让系统扫描了整个工艺流程。氧化炉的温度显示有些偏差，扩散工序的时间控制也不够精确，但这些都难不倒这些在艰苦条件下坚持研发的工人们。当最后一片成品从镀膜机里缓缓送出时，王师傅突然红了眼眶，用布满老茧的手背抹了抹眼睛："三年前我们试制第一批管子，成品率还不到5%，现在能到65%了..."

窗外的广播正播放着《咱们工人有力量》，激昂的歌声穿过结霜的玻璃窗，变得有些模糊不清。陈樾注意到王师傅的工作台下压着张泛黄的全家福，照片上的年轻人穿着崭新的工装，胸前别着大红花，笑容灿烂如朝阳。

3月3日傍晚，一个印着外文字母的木箱通过特殊渠道运抵上沪港三号码头。海关的封条上还沾着海水的咸腥味，开箱时，陈樾闻到了熟悉的防锈油味道——是正宗的DSW4800光刻机，虽然已经是五年前的旧型号，但对现在的夏国来说依然是宝贝。

"乖乖，这得花多少外汇啊..."港口老装卸工李师傅咂着嘴，粗糙的手指在木箱上小心翼翼地摩挲，生怕刮花了漆面。他的解放鞋鞋底已经磨平，在潮湿的水泥地面上留下淡淡的水痕，裤腿上还沾着码头特有的铁锈和煤灰。

陈樾亲自检查了设备。这台二手光刻机保养得很好，控制面板上的英文标签有些发黄，但每个按键都擦得锃亮，显然原使用者很爱惜。他注意到运输过程中有个镜头支架松动了，便借口调整设备水平，让系统完成了全面扫描。扫描光幕下，这台机器的每个螺丝、每根导线都无所遁形，全部转化为数字模型存入知识库。

"精度15微米，比我们现有的强十倍不止。"随行的年轻工程师小刘兴奋地说，眼镜片后的眼睛亮得像星星。他的笔记本上密密麻麻记满了参数，字迹工整得像印刷体，页边还画着几个简易的机械结构示意图。

3月5日，元件五厂的小会议室里烟雾缭绕。二十多名工程师挤在狭小的空间里，有人甚至坐在窗台上，膝盖上摊开着笔记本。陈樾在黑板上画着复杂的光路图，粉笔灰落在他的黑皮鞋上，积了薄薄一层。汗水浸透了中山装的后背，在暖气不足的房间里冒着淡淡的白气。

"毛熊的光刻机用的是汞灯光源，鹰酱这台是激光的..."陈樾边说边擦汗，袖口已经沾满了粉笔灰。角落里，两个老工程师为了一个光学参数争得面红耳赤，茶杯都被碰翻了，褐色的茶渍在图纸上晕开，像一幅抽象的水墨画。

会议一直开到深夜，食堂送来的肉包子已经凉了，表皮变得硬邦邦的。但没人离开，有个戴眼镜的女技术员甚至趴在图纸上睡着了，手里还攥着半块没吃完的馒头，眼镜歪在一边，镜片上沾着指纹。

5月15日凌晨，第一台国产光刻机终于组装完成。实验室里挤满了人，有个身材瘦小的技术员不得不站在工具箱上才能看清操作台。当电源接通的那一刻，氙灯光源发出的刺眼蓝光透过复杂的光学系统，在暗室里划出一道锐利的光路，照亮了每个人紧张而期待的面庞。

"激光干涉仪校准完成！"负责测量的工程师老张盯着读数显微镜，声音有些发颤。他额头上的汗珠在冷光源照射下闪闪发亮，握着调节旋钮的手指关节因用力而发白。

陈樾俯身在测量显微镜前，看到硅片上的线条边缘像刀切般整齐。他轻轻旋转微调旋钮，十字准线对准刻线边缘，读数鼓轮显示出的数值让他的手微微一抖——10微米。这个数字正好是他们设计指标的极限值，意味着这台机器已经达到了世界先进水平。

"重复测量三次，误差不超过0.2微米。"检测组长大声报告，手里的记录本哗啦作响。他的白大褂袖口沾着显影液，已经洗得发黄了，胸前的口袋里插着三支不同颜色的铅笔。

王师傅挤到前面，用粗糙的手指小心翼翼地捏起那片硅片，对着灯光观察。晶圆上的电路图案像蛛网般精密，阳光透过时在地上投下细密的影子网格，宛如未来科技的蓝图。

"成了！"他突然大喊一声，声音震得天花板上的灰尘簌簌落下。这个平常沉默寡言的老工人一把抱住身边的年轻技术员，后者眼镜都被撞歪了，却也跟着又哭又笑。有人从柜子里拿出珍藏的茅台，倒进搪瓷缸里，大家轮流啜饮，每个人的眼睛里都闪着泪光。

5月16日，河北半导体研究所连夜送来的高纯度硅晶片在阳光下闪着淡蓝色的金属光泽。陈樾亲自操作新光刻机，制作出的3AG95晶体管比原来的小了整整一圈，像一颗精致的艺术品。

"体积缩小40%，性能提升30%，功耗降低75%。"检测员的声音有些发抖。他的白大褂口袋里插着支英雄牌钢笔，笔帽上的金色校徽已经模糊不清，笔尖还沾着新鲜的墨水。

陈樾举起那片小小的晶圆，透过灯光能看到上面密密麻麻的电路图案，像一座微缩的未来城市。窗外，一群鸽子飞过，翅膀拍打的声音像是远方的掌声，为这项来之不易的成就喝彩。

5月20日，荒废多年的老机床厂挂上了崭新的牌子。工人们正在清理院子里的杂草和碎石，有个年轻小伙子不小心惊动了一窝麻雀，扑棱棱地飞向蓝天。陈樾站在大门口，看着工人们把"上沪光刻设备厂"的铜牌挂正。朝阳照在崭新的厂牌上，"光刻"二字反射出耀眼的光芒，仿佛预示着夏国半导体工业的光明未来。

"陈总，咱们给第一台机器起个名吧？"周厂长提议道，手里拿着瓶刚从供销社买来的橘子汽水，玻璃瓶壁上凝着冰凉的水珠，在阳光下闪闪发光。

陈樾望着厂房外刚栽下的小树苗，嫩绿的叶子在春风中轻轻摇曳，轻声道："就叫曙光一号吧。"

一阵温暖的春风吹过，小树苗的枝叶沙沙作响。远处传来火车的汽笛声，像是新时代的号角，宣告着夏国科技事业即将迎来崭新的黎明。

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