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“举个例子,我想光刻l型图案,我的光掩膜版也是l型图案,可光刻的同时,因为使用了劣质光刻胶,导致图案上方也发生了化学反应,l型图案成了i型,多了那么一点,这就是半导体硅片污染。”
“啪啪啪——”
陈星缓口气的间隙,现场就响起了雷鸣般的掌声,直播间弹幕更是不停刷出。
“不是陈总,上帝到底给你关了哪扇门啊?你这个男人真特么完美到无可挑剔!”
“这讲述水平绝了,哪怕陈总是背诵稿子的,能够记住这么多,那也是天才级别。”
“大伙说有没有可能,其实陈总表面是公司首席总裁,实际背地里还有一层身份,那就是龙兴科技公司的首席科学家?”
“还真别说,确实有这个可能。”
“好好好,反差男是吧?”
过硬的业务水平,言简意赅的讲解让陈星收获了掌声与称赞,不过他也只是停顿了片刻,待现场掌声稍稍减弱,他压了压手,示意安静下来道:
“现在大家都对光刻抗阻有了一定的认知,那我就不得不再提光刻抗阻为什么可以反应出纯度,亦或者说品质。”
“玩过光源聚焦的都知道,光束越集中,单点能量就越强,这个大家可以拿个放大镜去聚焦太阳光,我就不过多赘述了。”
“目前的光刻机光源,分为已经半淘汰的248纳米,主要用于90纳米以上的光刻,其次是193纳米光源和135纳米光源,这里值得注意的是,135纳米光源只有euv光刻机可以做到。”
“光源越小,能量密度越高,相对应的精准度也会越高,这就给我们光刻工程师提供了更高工艺水准芯片的温床,14纳米工艺芯片用的就是135纳米光源。”
“之前我也提到了,光束越集中,光刻的能量就越强,如果光刻胶抗阻型弱,是不是很容易造成半导体硅片污染?”
问题抛出,全场来宾都微微颔首,认同陈星的说法。
罗浩更是凑近雷布斯,小声感慨道:“还别说,陈老弟完全可以去高校当教授了,居然连我都听得懂什么叫光刻抗阻。”
“这就叫积累,好好学吧。”
雷布斯淡淡回应。
陈星不拿任何提示稿件,现场也没有提词器,却可以把光刻抗阻讲述这么透彻,要说没下苦功夫那是不可能的。
而在所有观众对光刻抗阻和光源有了一定认知后,陈星继续讲述道:“因此想要造7纳米、5纳米甚至是3纳米芯片,光刻胶的抗阻性必须要跟上工艺进度,所以我们这款1025光刻胶理论支持…”
陈星按下手心的遥控器,led屏幕弹出具体参数的瞬间,快速开口道:“3纳米。”
“!!!”
“嘶!!!”
现场惊呼声,倒吸凉气声交织,宛如一场口技盛宴,每个人都贡献自己的声音。
任国非闪烁惊讶目光的同时,喃喃自语道:“这小子没开玩笑,他可能真在搞3纳米芯片。”
“这…”
雷布斯惊得说不出话。
罗浩、段勇平、陈永、王福等老总同样如此,一时间都被这个消息震慑住了。
当初陈星回应裤克,提出3纳米芯片的世纪赌约,几乎没有业内老总认为陈星可以办得到。
3纳米芯片什么概念?
这得有euv光刻机吧?
龙兴科技没有。
还要有高纯度光刻胶吧?
龙兴科技也没有。
最后还得设计相应集体电路图,具备熟练的生产工艺吧?
前面芯片设计不好说,后面的光刻生产工艺,龙兴科技同样不具备这个条件。
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